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勻膠機

更新時間:2024-05-05

產品型號:德國SPS-EUROPE SPN150i

廠家性質:生產廠家

訪問次數:627

簡要描述:

德國SPS-EUROPE公司SPINCOATING品牌勻膠機具有轉速穩定,啟動快速,涂膠一致性和均勻性好等特點,廣泛應用于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝制版表面涂覆。

工作原理

勻膠機(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。

*特征

可編程全尺寸彩色觸摸屏控制器,可拆卸,耐化學試劑腐蝕;速度、加速和時間可編程;無*程序存儲空間,可存儲旋涂多步驟工作協議;具有協議密保功能;

可編程轉速范圍: 1rpm-12,000rpm;轉速參數設置范圍廣;高精確性旋轉速度 (± 0.1 rpm);

數字電機控制,帶增速數字顯示信號反饋,以避免轉速過量,從而提升涂膜的品質;

防靜電PET透明襯套,杜絕工作倉室的交叉污染;

一體化結構,殼體采用α-聚丙烯(NPP-H)材質,傳動系統采用工程塑料材質,壽命長耐腐蝕;

采用經過熱處理透明玻璃蓋。玻璃蓋帶彈簧可自動將蓋子固定在理想位置;玻璃蓋上帶注射器固定架和氮氣擴散器,注射器固定架以固定的位移距離和位置注入抗蝕劑/化學試劑;氮氣擴散器在旋涂過程可注入到工作艙氮氣/氬氣;工作艙環境可控;

安全互鎖裝置:工作艙蓋鎖止;艙蓋打開旋轉自動停止;真空不足或沒有真空旋轉自動停止;過載保護;

USB端口:可上傳和下載旋涂協議和軟件;

三個外接控制端口,可用于接入注入單元自動控制,氮氣擴散器控制等等;

產品通過CE認證。

 

參數

 

 

SPN150i

SPN200i

控制方式

全彩觸摸屏控制界面

全彩觸摸屏控制界面

結構材質

聚丙烯(NPP-H)材質

聚丙烯(NPP-H)材質

旋轉速度

1-12000rpm ±1rpm steps

1-12000rpm ±1rpm steps

旋轉精度

±0.1rpm

±0.1rpm

旋轉方向

順時針,逆時針,交換擺動

順時針,逆時針,交換擺動

加速/減速

1-30,000rpm/秒 (每步可選)

1-30,000rpm/秒 (每步可選)

旋轉時間

 0.1-99999秒/步

 0.1-99999秒/步

基片范圍

160mm 或6"直徑或4"x4"方片

260mm 或6"直徑或6"x6"方片

腔體直徑

202mm

302mm

外接控制端口

3個

3個

真空開關

外形尺寸

27.5x45.0x25.0cm(WxDxH)

380x559x307cm(WxDxH)

 

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